|
|
| 美國AALBORG氣體質(zhì)量流量計/控制器 |
| |
| 產(chǎn)品簡介：上海胤旭國際貿(mào)易有限公司優(yōu)價銷售美國Aalborg, Aalborg氣體質(zhì)量流量計, Aalborg控制器
|
| |
| 產(chǎn)品說明：美國AALBORG氣體質(zhì)量流量計/控制器
上海胤旭國際貿(mào)易有限公司優(yōu)價銷售美國Aalborg, Aalborg氣體質(zhì)量流量計, Aalborg控制器
美國Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上****的氣體質(zhì)量流量計/控制器的生產(chǎn)廠家，其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。
AALBORG氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品特點(diǎn)：性價比高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計數(shù)器
AALBORG氣體質(zhì)量流量計典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
AALBORG氣體質(zhì)量流量計設(shè)計特點(diǎn)：
－剛性金屬結(jié)構(gòu)
－流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
－****壓力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦氣
－NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
－可傾斜的LCD讀表
－0-5Vdc或4-20mA信號輸出
－電路保護(hù)
－可用作便攜式的設(shè)備
－0到100％比例顯示
－可配備流量計算機(jī)
AALBORG氣體質(zhì)量流量計精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力�？蛇x±1％滿量程（標(biāo)定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。
重復(fù)性：±0.5％滿量程
回應(yīng)時間：實際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒
溫度系數(shù)：0.15％滿量程／℃
壓力系數(shù)：0.01％滿量程／psi（0.07bar）
氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）
輸出信號：0-5Vdc，最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出：＋12Vdc；****200Ω。＋24Vdc可選
時間恒量：800ms
氣體壓力：****1000psig（70bar）�？蛇x20psig（1.4bar）
流體接觸面材質(zhì)：A：GFC鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環(huán)
B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不銹鋼系列：316不銹鋼、氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán)。
方位靈敏度：水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度；標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置
連接：GFC17和37： |
| |
|
