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微特電機論文:交流伺服系統(tǒng)在半導(dǎo)體集成電路芯線焊接機上的應(yīng)用
 
 

 下面介紹一個已經(jīng)使用了的集成電路芯線焊接機的情況。
  集成電路的芯片與引腳之間一般用0.025mm左右的鋁線或金線焊接,需在2.5mm間隔內(nèi)對X一Y,平面工作臺進(jìn)行快速精確定位。
  芯線焊接機的結(jié)構(gòu)示意圖如圖9—3所示。


  X一Y,工作臺由伺服電動機驅(qū)動。對于這類伺服電動機的要求,不僅要求反應(yīng)快、精度高、可靠性高,而且要求體積小、質(zhì)量輕,也就是比功率密度(單位質(zhì)量、單位時間的輸出功率)要高。由于電動機裝在工作臺上,電動機本身也是負(fù)載的一部分,所以不僅要求電動機質(zhì)量輕,而且電動機必須在瞬時內(nèi)能輸出較大的轉(zhuǎn)矩。X一Y,工作臺的移動量由裝在低慣性電動機非負(fù)載端的PG(光電編碼器)
來檢測,其方法是將光電編碼器的輸出脈沖進(jìn)行計數(shù)并轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的位移量。為了減小電動機整體的體積,將光電編碼器輸出的脈沖列在伺服控制器內(nèi)進(jìn)行F/v(頻率/電壓)變換后進(jìn)行負(fù)反饋。
    指令的輸入方式與步進(jìn)電動機基本相同。以正轉(zhuǎn)脈沖列和反轉(zhuǎn)脈沖列的形式輸入。改變輸入指令脈沖的頻率即可改變電動機的轉(zhuǎn)速。根據(jù)脈沖的數(shù)目可以決定移動量。整個芯線焊接機包括顯微鏡、電視攝像機、加熱溫度自動控制器、支架、Xy控制器、編碼器、焊頭、毛細(xì)管、屏幕顯示和Ac伺服驅(qū)動控制器。在屏幕顯示上可清晰地監(jiān)視芯線的焊接情況。全部操作都在微機控制下進(jìn)行。
  控制框圖如圖9—4所示。由微機分別向X軸和y軸伺服控制器發(fā)出正轉(zhuǎn)或反 轉(zhuǎn)的脈沖列指令,伺服電動機則在伺服控制器的控制下動作。電動機與滾珠絲杠連 接,帶動工作臺x軸和y軸移動。為了在短時間內(nèi)完成精密定位,在控制和設(shè)計時要求做到以下幾點:


    1)伺服電動機只應(yīng)在有脈沖指令出現(xiàn)時才轉(zhuǎn)動,并且靠脈沖列指令定位。為了減小整個裝置的體積,應(yīng)將伺服控制器的數(shù)字電路部分(位置控制部分)和模擬電路部分(伺服放大部分)合成一體。
    2)必須在50ms內(nèi)實現(xiàn)間隔為2.5ms的定位,不僅要響應(yīng)快,而且要求加、減速平滑,此外還必須盡量減小機械振動和噪聲。數(shù)字位置環(huán)與模擬位置環(huán)之間王切換,應(yīng)采用伺服鉗位,保證振蕩范圍小于±1個脈沖。
    3)當(dāng)****指令脈沖達(dá)到60kP/s時,應(yīng)具有足夠的快速響應(yīng),因此應(yīng)采用分辨率較高的光電編碼器,以保證精度達(dá)到2.5μs/脈沖和提高生產(chǎn)率。

 

隨著半導(dǎo)體器件制造技術(shù)的發(fā)展,單位面積內(nèi)所集成的晶體管的個數(shù)越來越多。在1971年,典型的芯片尺寸為大約在9mm2次方左右的面積上,至少集成4000個晶體管,特征尺寸為10μm左右;到1990年,先進(jìn)的水平已達(dá)到100mm2次方面積上能集成6百萬個晶體管,而特征尺寸只有0.8μm;而在本世紀(jì)初,它采用0.13μm的特征工藝尺寸,集成密度更高。由此可見,未來的芯片集成和封裝將是規(guī)模更大,技術(shù)更復(fù)雜,輸入與輸出的引腳更多。
  近幾年來,引線接頭焊點距離從120μm下降到70μm,甚至更小,這樣必將給下一代導(dǎo)線焊接機提出更高的要求,為降低封裝費用,必須降低每個針腳的焊接費用,而這只能依靠更快的焊接機,這些都要求采用新型伺服技術(shù),同時實現(xiàn)高速度與高精度定位的伺服控制。
  將電子元件自動插入印制電路板的插件機與印制電路板的開孔機,也同樣采用X—y工作臺定位,需要選擇適宜的交流伺服驅(qū)動系統(tǒng)。

 

 

 
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