超聲波電動機 超聲波電動機（簡稱USM）是國外日益受到重視的一種新型直接驅動電動機。同傳統(tǒng)的電磁式電機不同，USM沒有磁極和繞組，不依靠電磁相互作用傳遞能量，而是利用壓電陶瓷的逆壓電效應，將材料的微觀變形通過共振放大和摩擦耦合轉換成轉子或者滑塊的宏觀運動，又稱壓電電動機。USM具有功率密度大、無電磁干擾、低速大轉矩、響應塊、無噪音和無輸入自鎖等****特性，在非連續(xù)運動領域和精密控制領域要比傳統(tǒng)的電磁電動機性能優(yōu)越得多。
USM在工業(yè)控制、汽車專用電器、超高精度測量儀器、辦公設備、智能機器人等領域具有廣闊的應用前景，近年來倍受科技界和工業(yè)界的重視。 自從1987年日本佳能公司將其開發(fā)的USM正式應用于EOS相機自動調焦系統(tǒng)以來，使USM的研究開發(fā)達到高潮，德、法、英、美、中、韓等國紛紛投入到USM的研究行列中。
日本在USM技術上處于世界****地位，掌握大多數(shù)技術發(fā)明專利�，F(xiàn)在日本幾乎所有的知名大學和大公司都在進行USM的研究。最近10年，日本的USM已進入實用化應用階段，相對成熟的環(huán)形、棒形行波型USM已批量生產(chǎn)。
美國USM也在軍事和航空航天領域取得良好的應用： 2超微電機 超微電機是基于微電子機械系統(tǒng)（Micro-Electro Mechanical System，MEMS）而發(fā)展起來的一種新型高技術產(chǎn)品，其特點是基于半導體材料硅的微機械加工技術，用來制造尺寸從毫米到微米級范圍的具有能量轉換功能的器件。它是傳統(tǒng)的機械制造技術的一次革命性的飛躍。用這種技術制造的器件或裝置很多，其中超微電機是其中之一。
美國1998年用靜電原理工作的超微電機研制成功，轉子外徑100μm，厚度2μm，但是驅動力矩小，而驅動電壓高達100V，限制了它的應用。1996年，德國推出直徑為2mm，高4mm的超微電機。日本東芝公司研制的產(chǎn)品重量為40mg，轉速60～100r／min，電壓1.7V，直徑為0.8mm世界上最小的電磁型超微電機。
隨后美國也研制出了直徑為1～2mm的超微電機。上海交通大學1995年研制成直徑為2mm，高0.7mm具有較高效率的電磁型超微電機。 目前，超微電機還處于實驗室階段，應用到商品上還需做大量深入的工作。但是可以預計，超微電機及其制造技術將對本世紀帶來很大影響，將成為微電機系統(tǒng)中不可缺少的驅動元件。
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