超聲波電動(dòng)機(jī) 超聲波電動(dòng)機(jī)（簡(jiǎn)稱USM）是國(guó)外日益受到重視的一種新型直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)。同傳統(tǒng)的電磁式電機(jī)不同，USM沒(méi)有磁極和繞組，不依靠電磁相互作用傳遞能量，而是利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)，將材料的微觀變形通過(guò)共振放大和摩擦耦合轉(zhuǎn)換成轉(zhuǎn)子或者滑塊的宏觀運(yùn)動(dòng)，又稱壓電電動(dòng)機(jī)。USM具有功率密度大、無(wú)電磁干擾、低速大轉(zhuǎn)矩、響應(yīng)塊、無(wú)噪音和無(wú)輸入自鎖等****特性，在非連續(xù)運(yùn)動(dòng)領(lǐng)域和精密控制領(lǐng)域要比傳統(tǒng)的電磁電動(dòng)機(jī)性能優(yōu)越得多。
USM在工業(yè)控制、汽車專用電器、超高精度測(cè)量?jī)x器、辦公設(shè)備、智能機(jī)器人等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景，近年來(lái)倍受科技界和工業(yè)界的重視。 自從1987年日本佳能公司將其開(kāi)發(fā)的USM正式應(yīng)用于EOS相機(jī)自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)以來(lái)，使USM的研究開(kāi)發(fā)達(dá)到高潮，德、法、英、美、中、韓等國(guó)紛紛投入到USM的研究行列中。
日本在USM技術(shù)上處于世界****地位，掌握大多數(shù)技術(shù)發(fā)明專利�，F(xiàn)在日本幾乎所有的知名大學(xué)和大公司都在進(jìn)行USM的研究。最近10年，日本的USM已進(jìn)入實(shí)用化應(yīng)用階段，相對(duì)成熟的環(huán)形、棒形行波型USM已批量生產(chǎn)。
美國(guó)USM也在軍事和航空航天領(lǐng)域取得良好的應(yīng)用： 2超微電機(jī) 超微電機(jī)是基于微電子機(jī)械系統(tǒng)（Micro-Electro Mechanical System，MEMS）而發(fā)展起來(lái)的一種新型高技術(shù)產(chǎn)品，其特點(diǎn)是基于半導(dǎo)體材料硅的微機(jī)械加工技術(shù)，用來(lái)制造尺寸從毫米到微米級(jí)范圍的具有能量轉(zhuǎn)換功能的器件。它是傳統(tǒng)的機(jī)械制造技術(shù)的一次革命性的飛躍。用這種技術(shù)制造的器件或裝置很多，其中超微電機(jī)是其中之一。
美國(guó)1998年用靜電原理工作的超微電機(jī)研制成功，轉(zhuǎn)子外徑100μm，厚度2μm，但是驅(qū)動(dòng)力矩小，而驅(qū)動(dòng)電壓高達(dá)100V，限制了它的應(yīng)用。1996年，德國(guó)推出直徑為2mm，高4mm的超微電機(jī)。日本東芝公司研制的產(chǎn)品重量為40mg，轉(zhuǎn)速60～100r／min，電壓1.7V，直徑為0.8mm世界上最小的電磁型超微電機(jī)。
隨后美國(guó)也研制出了直徑為1～2mm的超微電機(jī)。上海交通大學(xué)1995年研制成直徑為2mm，高0.7mm具有較高效率的電磁型超微電機(jī)。 目前，超微電機(jī)還處于實(shí)驗(yàn)室階段，應(yīng)用到商品上還需做大量深入的工作。但是可以預(yù)計(jì)，超微電機(jī)及其制造技術(shù)將對(duì)本世紀(jì)帶來(lái)很大影響，將成為微電機(jī)系統(tǒng)中不可缺少的驅(qū)動(dòng)元件。
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